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微透镜是一种常见的微光学元件#xff0c;通过设计微透镜#xff0c;可对入射光进行扩散、光束整形、光线均分、光学聚焦、集成成像等调制#xff0c;进而实现许多传统光学元器件难以实现的特殊功能。
微透镜阵列#xff08;Microlens Array#x… 广泛应用的微透镜阵列
微透镜是一种常见的微光学元件通过设计微透镜可对入射光进行扩散、光束整形、光线均分、光学聚焦、集成成像等调制进而实现许多传统光学元器件难以实现的特殊功能。
微透镜阵列Microlens ArrayMLA 是由数十个或数千万个通光孔径及浮雕深度为微米级的微透镜按照特定排列而成的阵列。通过调整阵列中微透镜的形状、焦距、排布结构方式、占空比填充因子等我们就可以实现特定光学功能。根据对光束调制原理的不同可分为衍射微透镜、折射型微透镜、混合菲涅尔微透镜和超透镜。 来源采用优可测超景深显微镜拍摄的MLA 微透镜阵列的应用范围从光纤耦合的光束转换到激光均质化到相同波长的激光堆的有效组合再到光场3D显示、光场成像、投影照明、高灵敏度探测、光学安全和广视阈成像等领域应用非常广泛。 来源真三维显示技术概述与现状:原理和展望 客户需求
晶圆MLA全检如何又快又准
全球材料、网络和激光领域的全球领导者之一某国际品牌其福州工厂需要为了一批晶圆MLA产品进行全检需要引入多台“满足检测精度同时实现检测效率快速提升”的自动化检测设备。
MLA的产品属性决定了检测量一张8寸晶圆片上面大约包含了10000的微透镜评价微透镜阵列的指标包含有曲率半径ROC、表面粗糙度Ra/Sa等、非球面K值、表面轮廓偏差SPD、透镜间距Pitch等。微透镜的尺寸是微米级而表面粗糙度Ra/Sa等则是纳米级。
对检测设备而言效率和精度大多数都是相对矛盾对比的指标。如何在满足检测精度要求下对晶圆MLA进行全量的快速检测这不仅考验设备的精度更考验其数据处理软件的效率与自动化的能力。 优可测方案
晶圆3D自动量测NX230系列
单颗透镜10s速检总效率提升75%
在经过多轮测试、对比与验证后 客户最终选择了晶圆3D自动量测设备—NX230系列。 优可测晶圆3D自动量测NX230系列 NX230系列标配晶圆吸附载台测量模块包含白光干涉仪与光谱共焦位移传感器单元。白光干涉仪标配高精度压电陶瓷PZT最高扫描速度为400μm/秒搭载高感光度、高像素、最高3200Hz扫描帧率的CMOS相机配合业内首创SSTGAT算法可瞬间完成最高500万点云采集是业内首家精度可达0.03nm的晶圆3D自动量测设备。
设备还可实现自动化检测包括自动对焦、自动定位以及自动跑位自动完成每颗透镜的数据输出并可进行OK/NG的判断根据测量数据进行分级、分拣以及热力3D图输出便于下一道工序的自动挑选。
设备检测项目包含曲率半径ROC、数值孔径NA、表面粗糙度Ra/Sa等、K值、表面轮廓偏差SPD等。 微透镜阵列MLA三维形貌
来源优可测白光干涉仪扫描成像 微透镜阵列MLA三维形貌
来源优可测白光干涉仪扫描成像 该设备可实现从“离线检测”到“在线全检”在满足精度要求的前提下设备对单颗透镜检测效率相比之前方案提升了75%且稳定性达到0.2%以内。单台设备的检测量可提升6倍以上设备工作时间按1天24小时计。
此外该设备自动化运营一名工程师可管理多台设备设备正常运营后大幅提高了客户的出货数量与质量。
